High Angle, High Integrity Beam Deflection

High Angle, High Integrity Beam Deflection

 

Electron beam surface treatment and 3D printing impose stringent beam deflection requirements. The deflection must be of high frequency (some 50 kHz), high amplitude (10 s of μm) and accurate (to within 10 microns). Methods are described for the design of high integrity deflection coils and matching these to available current amplifiers. Simulations of the field allow trajectory plotting of beams to determine their intensity after deflection.

 

Електроннолъчевата повърхностна обработка и 3D печатането поставят строги изисквания към отклонението. Отклонението трябва да е високочестотно (например 50 kHz), с висока амплитуда (десетки mm), и точност (в пределите на 10 μm). Описани са методите на конструиране на високо-интегрални отклонителни бобини и съгласуването им с наличен токов усилвател. Симулацията на полето позволява траекторно изчертаване на снопа за определяне неговия интензитет след отклонението.

 

Download PDF full text